一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器
授权
摘要
本实用新型提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，包括：多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接，在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管，气体均匀分布板设置在反应装置的前部，导流装置位于气体均匀分布板的正前方，导流装置由导流罩和导流块组成，导流块为锥形结构。其有益效果是：区别于传统的通气方式，气体由直管直接进入反应炉，本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合；在进入反应室前通过导流装置，改变气流原有流动方向，使混合气体均匀的向四周分散，最后经过气体均匀分布板，进一步使气体更加均匀的进入反应室内。
基本信息
专利标题 ：
一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920903440.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN210613652U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
阮诗伦樊利芳李朝阳张留新王新宇
申请人 ：
郑州大工高新科技有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号
代理机构 ：
郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
边鹏
优先权 ：
CN201920903440.6
主分类号 ：
B01J19/00
IPC分类号 ：
B01J19/00 B01J4/00 B01F5/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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