一种边缘刻蚀用喷淋装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种边缘刻蚀用喷淋装置，包括动力箱、抽入管、水泵、支撑板和控制面板，所述动力箱的内部固定有支撑板，支撑板的顶端安装有水泵，所述水泵的输入端固定有抽入管，所述伸缩管的一端固定有铰接片，铰接片的表面安装有等间距的紧固螺丝，所述铰接片远离伸缩管的一侧安装有防护罩，防护罩的内部固定有喷洒板，所述喷洒板的内部安装有输送管道，所述恒温板的内部安装有保温石棉网，抗腐蚀板的内部设有等间距的聚四氟乙烯。本实用新型不仅提高了装置使用时的喷淋效果，增强了装置使用时喷淋位置的精确性，而且避免了装置使用时喷淋溶液性质改变。
基本信息
专利标题 ：
一种边缘刻蚀用喷淋装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920915196.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN210325703U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
马胜南
申请人 ：
南轩（天津）科技有限公司
申请人地址 ：
天津市宝坻区塑料制品工业区广仓道9号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920915196.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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