本实用新型公开一种预变形的硅片承载框，包括多条支承杆、框架以及连接组件，其中，所述多条支承杆纵横交错设置在框架内且支承杆的两端均与框架连接，纵横交错的多条支承杆形成多个用于承载硅片的承载槽；所述连接组件包括两个连接杆，所述框架的其中两个相对的侧部分别通过可拆卸连接结构连接在两个连接杆上，所述两个连接杆均向上微凸。本实用新型通过将框架连接在向上微凸的连接杆上，形成中部向上微弯曲的承载框，从而使得承载框在承载硅片且发生形变后仍能够保持水平的姿态，实现硅片的高精度加工。