本实用新型公开一种抗变形的硅片承载框，包括多条纵横交错设置的支承杆以及框架，所述多条支承杆的端部均连接在框架上；所述多条纵横交错设置的支承杆形成多个用于承载硅片的承载槽；所述多条纵横交错的支承杆包括一组沿纵向延伸的纵支承杆以及一组沿横向延伸的横支承杆，且其中一组支承杆的中部均向上弯曲设置。本实用新型通过将支承杆设置为向上弯曲，从而使得整个承载框的中部向上凸起，采用预变形的方式来克服硅片的重力，进而能够确保承载框在承载硅片后保持水平的姿态，有利于提高硅片的加工精度。