一种靶材的U型冷却水循环装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽。本实用新型将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材的U型冷却水循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921140882.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-19
授权号 ：
CN210529044U
授权日 ：
2020-05-15
发明人 ：
施玉良徐文斌
申请人 ：
法柯特科技（江苏）有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市盐城高新区凤凰南路18号
代理机构 ：
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 ：
丁国勇
优先权 ：
CN201921140882.6
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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