一种晶舟转换装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶舟转换装置，包括底板，底板的顶面上设置有若干限位座，限位座的一侧端面呈弧面状，限位座的弧形面上设有凸条，其中位于前端的限位座固定在底板上，位于后端的限位座固定在滑动板上，滑动板与底板滑动连接，底板的前端滑动连接有用于推动晶圆的转移装置，晶舟的侧表面处设有与凸条位置相对应的凹槽。该晶舟转换装置，通过设置在底板上的限位座，使装有晶圆的晶舟插接到被固定的一对限位座上、空置的晶舟插接到能够跟随滑动板进行移动的限位座上，使得晶舟上的晶圆在转换时，限位座对晶舟的侧向移动进行限位，防止晶舟在转换晶圆时出现偏移。
基本信息
专利标题 ：
一种晶舟转换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921144099.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-21
授权号 ：
CN210156362U
授权日 ：
2020-03-17
发明人 ：
凌永康张勇孙国标
申请人 ：
江苏壹度科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市句容市开发区崇明西路102号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921144099.7
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-03-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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