翻转晶圆的装置
授权
摘要
本申请公开一种翻转晶圆的装置，包括机架，机架上设有水平转轴和升降机构，水平转轴的一端连接动力部件，水平转轴通过连接件与升降机构相连，升降机构带动水平转轴在竖直方向上上下移动，水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘通过气管连接真空发生器。根据本实用新型实施例提供的技术方案，吸盘随水平转轴转动以实现晶圆的翻转，成本低，操作简单，安全系数高。
基本信息
专利标题 ：
翻转晶圆的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921152728.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN211337941U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
孙彬矫云超张雷
申请人 ：
厦门通富微电子有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦10楼1001单元F0193
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周颖颖
优先权 ：
CN201921152728.0
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07 B65G47/252 B65G47/91
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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