片材纵置运输小车及气相沉积设备
授权
摘要
本实用新型揭示了片材纵置运输小车及气相沉积设备，其中运输小车包括高窄且纵置易倾倒的车主体，车主体上设置有至少一组限位块和锁扣，一组限位块和锁扣与车主体配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体上的空间；车主体纵置于一排导向滚轮上且由导向滚轮驱动移动，一排导向滚轮可转动地设置于轮座上且连接驱动它们自转的动力机构，车主体通过磁力吸附保持摆正状态。本方案通过高窄的车体结构以及磁力吸附保持小车的摆正状态，既能够减少设备腔体的水平空间，又能够充分缩短阀门的开闭时间及打开宽度，从而可以有效的提高加工效率及避免不同腔体之间的气体交换，还可以减少掉落到工件上的杂质和灰尘等，有利于改善沉积质量。
基本信息
专利标题 ：
片材纵置运输小车及气相沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921332346.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN210974867U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
钱涛钱政羽吴其涛
申请人 ：
星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星华产业园5号楼
代理机构 ：
南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
陆明耀
优先权 ：
CN201921332346.6
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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