一种掩膜板再生装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种掩膜板再生装置，包括矩形箱体，所述矩形箱体内设有清洁机构以及支撑结构；上述支撑结构主要包括：一对步进电机以及一对丝杠架；所述矩形箱体前壁面开设有矩形通孔，所述矩形箱体上壁面开设有条形通孔，所述矩形箱体内左右两侧壁面均开设有条形凹槽，所述一对丝杠架分别安置于一对所述条形凹槽内部，所述一对丝杠架上均安置有丝杠，每个所述丝杠上均套装有螺母，本实用新型涉及掩膜板再生技术领域。便于掩膜板进行合理的清理除锈，提高掩膜板清理的使用效果，使其对掩膜板上的锈以及污渍进行清理，使其掩膜板再次使用。
基本信息
专利标题 ：
一种掩膜板再生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921340673.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-19
授权号 ：
CN210647445U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
张明
申请人 ：
深圳市海博源光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道桃源社区航城工业区智汇创新中心A栋331
代理机构 ：
深圳市世联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪琳琳
优先权 ：
CN201921340673.6
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
