一种真空蒸镀坩埚防堵料装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚、设置在坩埚开口处的挡板和具有加热功能的升降柱，升降柱设置在挡板上，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及时解决堵料问题，且不会造成材料的浪费；不用时升降柱可以收缩到挡板上，蒸镀时随挡板的打开而离开坩埚口，不影响蒸镀过程。
基本信息
专利标题 ：
一种真空蒸镀坩埚防堵料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921394495.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-26
授权号 ：
CN210596241U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
张艳马星辰
申请人 ：
固安鼎材科技有限公司
申请人地址 ：
河北省廊坊市固安县新兴产业示范区
代理机构 ：
北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
彭秀丽
优先权 ：
CN201921394495.5
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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