一种单晶炉炉压调节装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
一种单晶炉炉压调节装置,包括不锈钢环架、电控部分,还包括阀板和环形胶木阀套;阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构,锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套,环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间,且环形胶木阀套不做运转,电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接,所述电控部分带动阀板做正反转动。本实用新型一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险;另一方面,阀板比起原来结构减小,紧贴周围有环形胶木阀套防护,机械运行的力度大大降低,阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合,设备压力控制稳定可靠。
基本信息
专利标题 :
一种单晶炉炉压调节装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921505856.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-11
授权号 :
CN211497862U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
王松涛孙金召吴继伟冯冰冰
申请人 :
麦斯克电子材料有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 :
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
李真真
优先权 :
CN201921505856.9
主分类号 :
C30B15/20
IPC分类号 :
C30B15/20 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
法律状态
2020-11-10 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 15/20
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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