半导体结构
授权
摘要

该实用新型涉及一种半导体结构。其中所述半导体结构,包括:衬底;设置于所述衬底内的多个第一沟槽;由所述第一沟槽隔开的多个有源区;穿过所述有源区的第二沟槽;位于所述衬底上表面的介电层;窗口,穿透所述介电层与所述衬底相连接,并设置在相邻二个所述第一沟槽和相邻二个所述第二沟槽之间,且所述窗口在所述衬底上表面的投影面积大于等于相邻二个所述第一沟槽和相邻二个所述第二沟槽之间有源区的尺寸。

基本信息
专利标题 :
半导体结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921515065.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-11
授权号 :
CN210092082U
授权日 :
2020-02-18
发明人 :
陶大伟
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 :
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙佳胤
优先权 :
CN201921515065.4
主分类号 :
H01L27/108
IPC分类号 :
H01L27/108  H01L21/762  H01L21/8242  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/10
在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105
包含场效应组件的
H01L27/108
动态随机存取存储结构的
法律状态
2020-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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