一种分压垫
授权
摘要
本实用新型公开一种分压垫，设置在压力盘和陶瓷盘之间，包括垫片，垫片中心位置开设圆形贯穿孔，其一面与压力盘粘接固定，另一面开设多道横向沟槽和纵向沟槽，垫片还开设有去真空凹槽和通气孔，去真空凹槽穿过圆形贯穿孔，两个通气孔位于去真孔凹槽的两端槽体内，在垫片的中心位置掏孔，使压力盘底部两侧的晶片在抛光过程中受力集中，提高晶片的抛光精度和效果，同时将垫片粘接固定在压力盘上，并在垫片上开设横向沟槽和纵向沟槽，增加垫片与陶瓷盘和晶片的摩擦力度，避免垫片在工作高速旋转时发生位移，提高晶体的抛光精度和效果，并且在加工结束升起压力盘时，外界空气可通过通气孔进入到去真空槽内，避免压力盘在升起时将陶瓷盘带起。
基本信息
专利标题 ：
一种分压垫
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921567611.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-20
授权号 ：
CN210550375U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
高长有张行富陈志敏张顼
申请人 ：
江苏京晶光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市上黄科技创业园飞跃路8号
代理机构 ：
南京行高知识产权代理有限公司
代理人 ：
王菊花
优先权 ：
CN201921567611.9
主分类号 ：
B24B37/30
IPC分类号 ：
B24B37/30 B24B37/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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