本发明公开了一种化学机械平坦化设备及其应用，所述一种化学机械平坦化设备包括晶圆载体，设置在所述晶圆载体上的研磨垫，安装在所述研磨垫上的晶圆承载座，安装在所述晶圆载体外侧的第一底座，以及释放臂，所述释放臂的一端与所述第一底座连接，另一端延伸至所述研磨垫中心位置，所述释放臂内包括第一输送管和第二输送管，通过所述第一输送管提供第一类液体清洗所述研磨垫表面，同时通过所述释放臂按压所述研磨垫去除所述第一类液体，通过所述第二输送管提供第二类液体流动到所述研磨垫表面，形成一层研磨液对所述晶圆进行研磨。通过本发明提供的一种化学机械平坦化设备及其应用，可降低研磨液的浪费，同时减少晶圆损伤，防止不同液体混合。