一种超大节能型多晶硅还原炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种超大节能型多晶硅还原炉，包括炉体和底盘，所述炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，其特征在于，所述底盘上至少设有108对电极，所述多对电极设在底盘上且按照多个同心圆式的环形等距布置，所述电极对的布置从内到外按照4N个展开，其中最外圈为4(N‑1)，N代表环形的圈数，所述电极上安装有生长硅芯，所述还原炉还包括双层进气系统、排气系统和冷却系统。本实用新型提供的一种超大节能型多晶硅还原炉，通过最大结构能力设计与制造，极大限地实现了钟罩反应器的超大化，并结合反应工艺，极大限实现夹套冷却水温度、压力，利用高温水冷却，提高还原副产蒸汽的等级。
基本信息
专利标题 ：
一种超大节能型多晶硅还原炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921656077.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-30
授权号 ：
CN210915336U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
张华芹吴海龙程佳彪
申请人 ：
上海韵申新能源科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1
代理机构 ：
上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
谢小军
优先权 ：
CN201921656077.9
主分类号 ：
C01B33/03
IPC分类号 ：
C01B33/03
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/03
使用卤化硅或卤化硅烷的分解，或其以氢作为惟一的还原剂的还原
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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