本实用新型公开了一种晶棒叠加切片无痕治具，其包括：固定座、竖板、软套和导向套，所述竖板垂直设置在固定座上，所述竖板正面内凹设置有数排螺纹孔，所述螺纹孔底部同心设置有与软套对应的盲孔，所述软套设置在盲孔中且前端延伸至螺纹孔中，所述软套内壁上外凸设置有半球形凸点，所述导向套设置在螺纹孔中进行软套前端的限位和挤压。本实用新型所述的晶棒叠加切片无痕治具，安装在电火花切割设备内的移动平台上，可以同时安装多排晶棒，提升切割效率，而且晶棒外圆通过导向套保持水平，利用半球形凸点的弹性挤压避免晶棒扭转问题，大大提升了切割时的稳定性，而且避免在晶棒表面造成压痕，提升了成品率。