本实用新型公开了一种用于半导体制造装置的流量计，包括主体，所述主体的前端外表面设置有箱门，所述箱门的下端设置有可替换标签，所述可替换标签的上端设置有警报装置，所述可替换标签与警报装置之间设置有控制面板，所述主体的上端外表面设置有顶板。本实用新型所述的一种用于半导体制造装置的流量计，设有防反光装置与防渗漏装置，在流量计使用时，可通过装置内部设置的遮光板，将流量计上方的太阳光遮挡住，防止太阳光对流量计造成反光，有利于使用者的观察，还可以在流量计安装时，将防渗漏装置通过安装槽快速安装在接口处，防止接口处出现渗漏，有利于流量计的使用，带来更好的使用前景。