一种溅射镀膜一体机用滚筒
授权
摘要
本实用新型公开了一种溅射镀膜一体机用滚筒，属于溅射镀膜设备技术领域，包括滚筒本体、两个滚轮、两个圆环形齿轮、若干支撑导柱和挡板组件，所述滚筒本体内部设有供待镀膜物品承放的容纳腔，所述滚筒本体的侧壁上设有与容纳腔连通的圆形贯穿槽，两个所述滚轮分别安装在滚筒本体的两端，两个所述圆环形齿轮分别安装在滚筒本体的两侧，若干所述支撑导柱围绕着所述滚筒本体的轴线方向均匀设置，所述挡板组件设置在滚筒本体的内圆周壁上。本申请在镀膜的过程中滚动，则能让容纳腔内的大量物件跟随着滚筒本体转动，增加所有的待镀膜的物件与成膜物质的接触面积，提高镀膜的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射镀膜一体机用滚筒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921994251.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211142147U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
王勇何飞朱雪峰
申请人 ：
成都四盛科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)世纪大道515号21栋2号
代理机构 ：
成都东唐智宏专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗言刚
优先权 ：
CN201921994251.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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