一种等离子刻蚀机的匀气盘
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机的匀气盘，包括匀气盘本体，所述匀气盘本体内部包括有固定盘，所述固定盘内部开设有中透气孔，所述固定盘内部开设有第一调气孔，所述固定盘上端固定连接有导风块，所述固定盘下端开设有活动槽，所述固定盘内部开设有定位槽，且定位槽与活动槽内部相互连通，所述活动槽内部活动连接有活动块，所述活动块外侧固定连接有定位滑块，所述定位滑块下端固定连接有调节盘，所述调节盘内部从内至外依次开设有中透气孔与第二调气孔，所述调节盘边缘内部开设有通孔，所述固定盘边缘内部开设有固定孔。该等离子刻蚀机的匀气盘，增加了整体的灵活性，方便对整体进行调节，同时整体结构稳定，整体方便进行操作。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀机的匀气盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922023653.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-21
授权号 ：
CN211016995U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
廖海涛孙文彬
申请人 ：
无锡邑文电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-403
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金辉
优先权 ：
CN201922023653.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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