一种半导体化学清洗设备
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型公开了一种半导体化学清洗设备,涉及半导体清洗技术领域。本实用新型包括壳体,所述壳体的内腔下部设置有镂空隔板,镂空隔板的顶端对称设置有限位条,壳体的内腔下部设置有转轴,转轴的轴壁对称设置有搅动板,搅动板上均设置有若干通孔,通孔内均设置有扇叶,镂空隔板的顶端两侧对称设置有滑槽,滑槽滑动连接有推板,推板的顶端设置有推动杆,壳体的顶端设置有与推动杆相匹配的通槽,推动杆的上部且位于通槽的上方设置有限位块。本实用新型通过镂空隔板、搅动板和推板的配合作用,有效解决了半导体篮静止过程中的反应速率不均匀和提拉半导体篮过程中产生碰撞的问题,从而保证了清洗过程中的清洗效果和成品率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体化学清洗设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922104651.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-29
授权号 :
CN211613618U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
辛长林阚总峰刘洪刚赵峰
申请人 :
安徽高芯众科半导体有限公司
申请人地址 :
安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园21号厂房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922104651.6
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10  B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2021-04-16 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : B08B 3/10
登记号 : Y2021980002274
登记生效日 : 20210330
出质人 : 安徽高芯众科半导体有限公司
质权人 : 池州市九华恒信融资担保有限公司
实用新型名称 : 一种半导体化学清洗设备
申请日 : 20191129
授权公告日 : 20201002
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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