本实用新型提供了一种浸没式光刻装置，属于半导体制品领域。该浸没式光刻装置包括透镜、支撑组件、卡接组件和定位组件。所述卡接组件包括底座和滑杆，所述滑杆的一端固定有齿条，所述齿条与所述齿轮啮合，所述基板台中部开设有通槽，所述通槽侧壁开设有卡槽，所述滑杆的一端与所述卡槽卡接；通过设置的基板台便于底座的固定，通过设置的滑杆与卡槽卡接，通过旋转转轴带动齿条移动，使得齿条带动滑杆移动，使得滑杆的一端与卡槽插接，便于底座卡接固定，通过增设的吸盘，按压橡胶气囊，使得吸盘端部产生负压，便于吸附晶片，对晶片进行吸附定位，使得加工过程中晶片稳固，便于晶片的取放，操作方便快捷。