一种光刻用多功能石英载体
授权
摘要
本实用新型公开一种光刻用多功能石英载体，该石英载体包括内缸与外缸，所述内缸与外缸固定焊接为一体，所述内缸尺寸小于外缸，内缸与外缸之间形成封闭夹层，所述内缸包括第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板、内底板，所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板与所述内底板固定焊接为一体，所述外缸包括第一外侧板、第二外侧板、第三外侧板、外底板，所述第一外侧板设置两个，且两个第一外侧板与第二外侧板、第三外侧板及外底板固定焊接为一体。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻用多功能石英载体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922315394.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-21
授权号 ：
CN212113653U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
张忠恕王连连赵鹤陈强于洋冯继瑶张娟边占宁孙云涛李宝军张连兴王建立
申请人 ：
北京凯德石英股份有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922315394.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 C03B20/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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