一种半导体硅材料耗材生长炉
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种半导体硅材料耗材生长炉。生长炉包括炉体、位于炉体内的隔热屏、加热装置、坩埚。坩埚被可升降的坩埚轴支撑,通过下降坩埚及坩埚轴,通过坩埚轴和下隔热屏的位置配合,造成坩埚底部中心过冷的方式,避免提升加热器或隔热屏的方式,使坩埚上方的热场件产生运动,造成附着的沉积物散落进坩埚,提高了晶体纯度。坩埚底部中心过冷的方式配合多段加热器营造的热场环境,不仅可以维持固液生长界面相对加热器的高度位置不变,保证生长界面处热环境的稳定,还可以形成由固体凸向液体的生长界面,便于结晶过程中排杂,提高晶体纯度。

基本信息
专利标题 :
一种半导体硅材料耗材生长炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922368738.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-25
授权号 :
CN211734524U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
李辉秦英谡张熠穆童毛瑞川
申请人 :
南京晶升能源设备有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济技术开发区恒发路30-1号
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张弛
优先权 :
CN201922368738.4
主分类号 :
C30B11/00
IPC分类号 :
C30B11/00  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长,例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2021-08-06 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 11/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 南京晶升能源设备有限公司
变更后 : 南京晶升装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 211113 江苏省南京市经济技术开发区恒发路30-1号
变更后 : 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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