用于真空镀膜设备的水循环装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的水循环装置，包括恒温水箱、第一水循环管路、第二水循环管路、第三水循环管路和控制阀装置，第一水循环管路用于连通恒温水箱和扩散泵上铺设的第一水冷管路，第二水循环管路用于连通第一水冷管路和一冷水源，控制阀装置用于选择性的将第一水循环管路和第二水循环管路中的其中一者与第一水冷管路连通；第三水循环管路用于将恒温水箱与铺设在真空室外壁上的第二水冷管路连通，恒温水箱为第二水冷管路提供恒定温度的温水；上述水循环装置，由于扩散泵的外壁高度远远高于常温，因此，可使得常温水箱中的水一直保持在高于常温的温度(如50℃)，而且不需要对恒温水箱设置额外的加热装置，提高了能源利用率。
基本信息
专利标题 ：
用于真空镀膜设备的水循环装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922379607.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-25
授权号 ：
CN211921687U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
阮春林
申请人 ：
东莞市天瞳电子有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇大片美村金鸡咀路1号二楼
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
张艳美
优先权 ：
CN201922379607.6
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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