一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构，包括基座及固定安装在所述基座上的固定组件，所述固定组件一端设置有可径向转动的转动部及用于驱动所述转动部转动的转动驱动电机，所述转动部上设有用于固定柱状件的柱状件固定装置，所述固定组件包括固定部及动力部，所述固定部与动力部相互固定。该种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构具有结构简单、实施成本低、实施难度小、加工质量高、涂层一致性高等现有技术所不具备的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922395216.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN211595785U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
盛立远
申请人 ：
北京大学深圳研究院
申请人地址 ：
广东省深圳市高新技术产业园区南区深港产学研基地大楼东座五楼
代理机构 ：
深圳市深可信专利代理有限公司
代理人 ：
万永泉
优先权 ：
CN201922395216.3
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35 C23C14/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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