一种高质量金刚石生长托盘和生长系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种高质量金刚石生长托盘和生长系统。一种高质量金刚石生长托盘，包括上基板台和下基板台，所述上基板台具有若干个通孔；所述通孔贯穿所述上基板台；所述下基板台具有下基板和若干凸柱，所述凸柱与所述通孔一一对应。使用本新型提供的籽晶托盘，能够保证金刚石籽晶生长环境稳定，降低表面生长缺陷数量，最终合成出高质量的单晶金刚石片，配合相应的金刚石生长方法，新生长的金刚石以层状进行生长，经过切割分离后的金刚石片可以达到光学级金刚石。
基本信息
专利标题 ：
一种高质量金刚石生长托盘和生长系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922419930.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211771655U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
彭国令黄翀
申请人 ：
长沙新材料产业研究院有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区文轩路27号麓谷钰园B8栋7楼
代理机构 ：
长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陶祥琲
优先权 ：
CN201922419930.1
主分类号 ：
C30B25/12
IPC分类号 ：
C30B25/12 C30B29/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/12
衬底夹持器或基座
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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