用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统，PLC冷却装置包括：控制模块、水冷机、若干进水管路、若干回水管路和若干水流计，其中，水冷机与控制模块双向电连接；若干进水管路中每路进水管路的进水端均连接至水冷机的出水口，若干进水管路中每个进水管路的出水端与金刚石生长系统中若干待冷却部件的冷却水入口一一对应连接；若干回水管路中每个回水管路的进水端与若干待冷却部件的冷却水出口一一对应连接，若干回水管路中每个回水管路的出口端均连接至水冷机的入水口；若干水流计一一对应设置在若干进水管路上，且若干水流计中的每个水流计均电连接至控制模块。该冷却装置能够达到无人值守的功能。

基本信息

专利标题：

用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021593738.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-04

授权号：

CN213388972U

授权日：

2021-06-08

发明人：

苗岱牛进毅

申请人：

山西云矽电子科技有限公司

申请人地址：

山西省太原市小店区康宁街康宁大厦(山西国际商务中心)A座2406室(入驻太原博皓商务秘书服务有限公司105号)

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘长春

优先权：

CN202021593738.0

主分类号：

C30B29/04

IPC分类号：

C30B29/04 C30B25/16