一种生长金刚石用散热装置
授权
摘要
本实用新型涉及金刚石制备技术领域,具体涉及一种生长金刚石用散热装置,包括沉积腔体,沉积腔体内设有冷却沉积台,还包括托盘,托盘放置于冷却沉积台上,托盘内设有导热介质;所述导热介质为金、银、铜或锡的单质中的任一种;导热介质的液体密度大于金刚石的密度;冷却沉积台设置有冷媒、冷媒进口和冷媒出口。本实用新型结构简单,设计合理,通过将待生长的金刚石籽晶与融化后导热介质融液形成良好的面接触,达到良好的散热效果,可为金刚石籽晶的连续生长提供均匀的温度条件。
基本信息
专利标题 :
一种生长金刚石用散热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921875995.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-31
授权号 :
CN212293841U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
王忠强丁雄傑王琦张国义
申请人 :
北京大学东莞光电研究院
申请人地址 :
广东省东莞市松山湖园区沁园路17号1栋2单元306号
代理机构 :
东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邓燕
优先权 :
CN201921875995.0
主分类号 :
C30B25/00
IPC分类号 :
C30B25/00 C30B29/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长,例如化学气相沉积生长
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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