一种用于等离子刻蚀的夹持装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于等离子刻蚀的夹持装置，包括上底板、下底板和螺杆，螺杆有两根，下底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第一连接部，两个第一连接部分别与两根螺杆的底端固定连接，上底板两侧的中心线上分别固定连接有一个第二连接部，两个第二连接部上分别设有一个通孔，通孔与螺杆配合，上底板通过其两侧第二连接部上的通孔套设在螺杆上，两根螺杆的顶端分别设有一个螺母，上底板的底面四个角分别设有一个压力传感器，上底板的上端面镶嵌有压力显示器，压力显示器与压力传感器电性连接，压力传感器底面固定连接有压板，该夹紧装置很好的解决了在等离子刻蚀中由于无法判断夹持的压力而导致刻蚀效果不理想甚至损坏硅片的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于等离子刻蚀的夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922425095.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211045373U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
陈正刘昭周亮亮
申请人 ：
江苏国源激光智能装备制造有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市宿城经济开发区西片区激光产业园二期C5幢厂房
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN201922425095.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L31/18 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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