一种等离子刻蚀尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子刻蚀尾气处理装置，风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，风机通过出风管与尾气处理箱的侧壁连接，尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，尾气处理箱底部设有排液口，排液口通过排液管连接有过滤箱，过滤箱通过回液管连接有处理液箱，处理液箱内盛放有处理液，处理液箱通过电机与喷头连接，排液口还连接有排气管，该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922425134.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211864532U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
陈正刘昭周亮亮
申请人 ：
江苏国源激光智能装备制造有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市宿城经济开发区西片区激光产业园二期C5幢厂房
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN201922425134.9
主分类号 ：
B01D53/79
IPC分类号 ：
B01D53/79 B01D53/96
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/79
注入反应剂
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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