一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构
授权
摘要
本实用新型属于真空镀膜机技术领域,尤其为一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构,包括连接把,所述连接把的一侧固定安装有连接杆,所述连接杆的一端固定连接有波纹管,所述波纹管的一端固定连接有固定板,所述固定板的一端通过螺钉连接有L字型板。通过在连接杆的一端固定连接波纹管,通过波纹管的伸缩可延长百叶窗的牵引长度,方便了调节机构的安装,同时波纹管的成本低廉,有利于降低设备成本,通过丝杆在驱动电机的带动下旋转,从而可带动调节杆移动,以调节百叶窗叶片的角度和出风面积,通过百叶窗出风口面积的大小调节真空镀膜机的抽速,此装置结构简单,安装方便,能有效自动调节真空镀膜机的抽速。
基本信息
专利标题 :
一种用于真空镀膜设备百叶窗的调整机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922486539.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-30
授权号 :
CN211170881U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
苏雄宇陈宪纬刘振波
申请人 :
深圳海容高新材料科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道20号深圳国家工程实验室大楼B903
代理机构 :
荆门市森皓专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王青松
优先权 :
CN201922486539.3
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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