激光加工装置
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摘要

一种激光加工装置,是通过沿着加工预定线向加工对象物照射激光,从而沿着上述加工预定线进行上述加工对象物的激光加工的激光加工装置,具备:激光光源,其输出上述激光;测定光源,其输出测定光;聚光单元,其将上述激光朝向上述加工对象物聚光而形成第1聚光点,并将上述测定光朝向上述加工对象物聚光而形成第2聚光点;测定部,其用于对应于上述加工对象物中的上述激光及上述测定光的入射面上的上述测定光的反射光来测定上述入射面的位移;调整部,其对应于上述入射面的位移的测定结果,调整关于与上述入射面交叉的方向的上述第1聚光点的位置;空间光调制器,其用于在上述激光光源与上述聚光单元之间,对应于调制图案来调制上述激光;以及控制部,其控制提示给上述空间光调制器的调制图案,上述控制部将包含用于对应于上述第1聚光点与上述第2聚光点之间的距离、以及从上述入射面起的上述激光加工的加工深度来变更关于与上述入射面交叉的方向的上述第1聚光点的位置的聚光位置变更图案的上述调制图案提示给上述空间光调制器。

基本信息
专利标题 :
激光加工装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112384324A
申请号 :
CN201980045035.8
公开(公告)日 :
2021-02-19
申请日 :
2019-07-01
授权号 :
CN112384324B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
福冈大岳近藤裕太
申请人 :
浜松光子学株式会社
申请人地址 :
日本静冈县
代理机构 :
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 :
杨琦
优先权 :
CN201980045035.8
主分类号 :
B23K26/53
IPC分类号 :
B23K26/53  B23K26/046  B23K26/064  H01L21/301  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/50
通过发射激光束通过工件或在工件内来加工的
B23K26/53
通过改变或重建工件内部材料,例如生产断裂初始裂纹
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-03-09 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/53
申请日 : 20190701
2021-02-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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