通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法
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摘要
本发明涉及一种通过化学气相渗透使多孔环形衬底(18)致密化的方法，所述方法至少包括以下步骤：提供多个单一模块(10)，其包括支撑板(14)，在所述支撑板(14)上形成有衬底的叠堆，所述支撑板具有与由堆叠衬底的中心通道(18a)形成的内部体积(17)连通的中心进气开口(14a)和环绕该中心开口成角度地分布的排气开口(14b)，以及形成热质量的圆筒(16)，所述圆筒环绕衬底的叠堆设置并且具有固定到支撑板的第一端部(16a)，以及第二自由端(16b)；在致密化炉的腔室(34)中形成单一模块的的叠堆，以及将气相喷射到单一模块的所述的叠堆内，所述气相包括一种将被沉积在衬底的孔隙内的基体材料的气体前体。
基本信息
专利标题 ：
通过化学气相渗透使多孔环形衬底致密化的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112567067A
申请号 ：
CN201980051768.2
公开（公告）日 ：
2021-03-26
申请日 ：
2019-07-24
授权号 ：
CN112567067B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
弗兰克·拉莫鲁雷米·杜邦威廉·罗斯
申请人 ：
赛峰集团陶瓷
申请人地址 ：
法国海兰省
代理机构 ：
中国商标专利事务所有限公司
代理人 ：
桑丽茹
优先权 ：
CN201980051768.2
主分类号 ：
C23C16/04
IPC分类号 ：
C23C16/04 C23C16/458 C23C16/46 C04B35/83 C23C16/455 C04B41/45
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-07-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/04
申请日 : 20190724
申请日 : 20190724
2021-03-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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