一种石墨烯/类金刚石润滑薄膜的制备方法
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摘要
本发明为一种石墨烯/类金刚石润滑薄膜的制备方法。该方法首先在基体上通过磁控溅射法制备氢掺杂类金刚石薄膜，然后利用分散剂将石墨烯溶于无水乙醇，将溶液均匀喷涂至样品，无水乙醇挥发后得到石墨烯/类金刚石润滑薄膜。本发明兼顾了氢掺杂类金刚石薄膜的低摩擦系数与石墨烯的高硬度和稳定性，相比于传统的复合薄膜，类金刚石与石墨烯的组合具有更低的摩擦系数与更长的耐磨寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨烯/类金刚石润滑薄膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112126906A
申请号 ：
CN202011028687.1
公开（公告）日 ：
2020-12-25
申请日 ：
2020-09-25
授权号 ：
CN112126906B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
马国政李国禄石佳东魏澳博韩翠红刘倩刘云帆李振王海斗
申请人 ：
中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请人地址 ：
北京市丰台区杜家坎21号陆军装甲兵学院
代理机构 ：
天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵凤英
优先权 ：
CN202011028687.1
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/06
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-01-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20200925
申请日 : 20200925
2020-12-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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