本发明公开了一种约束环和等离子体处理装置及其排气方法，所述约束环在等离子体处理装置中，用来约束等离子体反应腔中的等离子体。所述约束环包含多个环体和多个肋条，多个环体同心圆设置，相邻的两个环体之间存在环形间隙，作为约束环的气体通道；所述肋条设置于环体的下方，多个肋条沿环体的周向均匀分布，且每个肋条与所有的环体相交，将多个环体连接形成一体。本发明中，每个肋条至少部分不沿径向设置，从而避免了一个径向上的气流被完全阻挡；所述肋条截面设计为梯形，使肋条顶面变窄、肋条底面宽不超过环体的环壁宽度，从而进一步降低了肋条对气流的阻挡，气体分布均匀、无相互扰动，从而排出颗粒物、使其不在晶圆表面沉积。