三通阀及半导体制造设备
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种三通阀及半导体制造设备,其中,所述三通阀包括:阀座,所述阀座包括第一材料;旋转阀芯,所述旋转阀芯设置于所述阀座内,所述旋转阀芯的表面具有涂层,所述涂层的材料包括第二材料,所述第一材料和所述第二材料的摩擦系数小于预设值,由于第一材料和第二材料的摩擦系数小于预设值,即使长期的介质流向的转换,阀座与阀芯的摩擦系数较小,从而不容易导致阀座撕裂,解决了现有技术中三通阀门的阀座经常发生撕裂,导致介质外泄的技术问题。

基本信息
专利标题 :
三通阀及半导体制造设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114382918A
申请号 :
CN202011131259.1
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
边大一高建峰张琦辉杨涛李俊峰王文武
申请人 :
中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京华沛德权律师事务所
代理人 :
房德权
优先权 :
CN202011131259.1
主分类号 :
F16K11/08
IPC分类号 :
F16K11/08  F16K27/06  F16K25/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K11/00
多通阀,如混合阀;装有这种阀的管件;阀和专门适用于混合流体的流送管配置
F16K11/02
所有可移动的密封面作为一个单元移动
F16K11/08
只包含龙头或旋塞
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 11/08
申请日 : 20201021
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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