锭生长装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开锭生长装置。本发明实施例的锭生长装置可包括:生长炉,在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅的主坩埚;基座,包围上述主坩埚的外侧面,用于对上述主坩埚进行加热;加热器,设置有线圈,上述线圈以包围上述基座的外侧面的方式形成,通过接收电源来产生磁场,借助因上述磁场而产生的电磁感应来对上述基座进行加热;以及绝热部件,配置于上述线圈与上述基座之间。
基本信息
专利标题 :
锭生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114277437A
申请号 :
CN202011404804.X
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2020-12-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李泳敏李京锡朴镇成裵东佑
申请人 :
韩华思路信
申请人地址 :
韩国首尔
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
陈万青
优先权 :
CN202011404804.X
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06 C30B15/14
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20201203
申请日 : 20201203
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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