锭生长装置
授权
摘要

本实用新型公开锭生长装置。本实用新型实施例的锭生长装置包括:生长炉,在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅的主坩埚;基座,包围上述主坩埚的外侧面,包括互相电绝缘的多个发热部件;以及加热器,用于产生磁场,借助因磁场而产生的电磁感应来对上述多个发热部件进行加热,上述多个发热部件沿着上述主坩埚的外侧面形成环状。

基本信息
专利标题 :
锭生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022886081.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-12-03
授权号 :
CN216237374U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
裵东佑李京锡李泳敏
申请人 :
韩华思路信
申请人地址 :
韩国首尔
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
陈万青
优先权 :
CN202022886081.3
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/14  C30B15/20  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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