晶体的生长装置及生长方法
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摘要

本申请提供了一种晶体的生长装置及生长方法,包括炉体、坩埚、冷却套及导流筒,冷却套设在炉体的内部并对晶体进行冷却,导流筒设置在冷却套的外围,导流筒包括上导流筒部和下导流筒部,上导流筒部呈筒体状且环绕冷却套设置,下导流筒部设在上导流筒部的下端且位于冷却套的下侧,下导流筒部为一个中空的上大下小圆台结构,圆台结构内周壁上形成一个凹槽,凹槽的顶部贯穿圆台结构,冷却套沿着坩埚的轴向移动。该生长装置中,冷却套沿着坩埚的轴向移动,影响到炉体内热场分布,可微调固液界面处温度梯度,从而可拉制一定宽度无缺陷生长区域的晶体,解决了现有技术中固液界面的温度梯度较难控制导致拉制出缺陷较多生长区域的晶体。

基本信息
专利标题 :
晶体的生长装置及生长方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112281210A
申请号 :
CN202011079436.6
公开(公告)日 :
2021-01-29
申请日 :
2020-10-10
授权号 :
CN112281210B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
刘奇黄末陈翼冯厚坤冯参
申请人 :
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
霍文娟
优先权 :
CN202011079436.6
主分类号 :
C30B15/26
IPC分类号 :
C30B15/26  C30B15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制;晶体截面的控制
C30B15/26
使用电视摄像机的;使用光检测器或X射线检测器的
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-02-23 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/26
申请日 : 20201010
2021-01-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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