氧化镓晶体生长装置及晶体生长方法
授权
摘要
本发明公开了一种氧化镓晶体生长装置及晶体生长方法,氧化镓晶体生长装置,包括炉体、籽晶棒提拉装置和漂浮物去除装置,漂浮物去除装置包括升降机构、旋转驱动机构和粘接杆,旋转驱动机构与粘接杆相连并控制粘接杆的旋转,粘接杆下端对准铱金坩埚开口,粘接杆外侧套设有与旋转驱动机构、炉体相连的伸缩管,升降机构与旋转驱动机构相连并控制粘接杆的升降情况,粘接杆上端与籽晶棒提拉装置偏心安装,晶体生长方法包括以下步骤:氧化镓原料的熔化;漂浮物的去除;晶体生长;氧化镓单晶晶体的获取。本发明具有去除氧化镓熔体表面漂浮物使得籽晶顺利与氧化镓熔体接触,保证后续晶体顺利生长,生长出可根据需要切割出任意晶面的氧化镓晶体等优点。
基本信息
专利标题 :
氧化镓晶体生长装置及晶体生长方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114059162A
申请号 :
CN202210042869.7
公开(公告)日 :
2022-02-18
申请日 :
2022-01-14
授权号 :
CN114059162B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
张辉马可可夏宁王嘉斌刘莹莹杨德仁
申请人 :
浙江大学杭州国际科创中心
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区市心北路99号5楼
代理机构 :
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
姚宇吉
优先权 :
CN202210042869.7
主分类号 :
C30B29/16
IPC分类号 :
C30B29/16 C30B15/00 C30B15/30 C30B15/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/16
氧化物
法律状态
2022-05-13 :
授权
2022-03-08 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/16
申请日 : 20220114
申请日 : 20220114
2022-02-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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