一种用于标定直写光刻设备光路系统倍率的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于标定直写光刻设备光路系统倍率的装置。该装置包括升降系统、滑竿系统、转接系统和相机系统。滑竿系统包括X向滑竿组件和Y向滑竿组件。X向滑竿组件包括X向滑竿一与X向滑竿二；Y向滑竿组件包括Y向滑竿一与Y向滑竿二。X向滑竿一、X向滑竿二、Y向滑竿一和Y向滑竿二均包括滑竿主体和设置在滑竿主体两端的固定组件。转接系统包括转接块一、转接块二、转接块三和转接块四。相机系统包括相机一、相机二、相机三和相机四。本实用新型采用多个位置关系固定的相机替代了原有高精度运动平台，降低了标定倍率成本，解决了光路系统倍率无法离线标定问题，适用于不同环境下倍率标定，具有结构合理、布局紧凑、耦合性强等特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于标定直写光刻设备光路系统倍率的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020034777.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-08
授权号 ：
CN211669495U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
张琦
申请人 ：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
代理机构 ：
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚华保
优先权 ：
CN202020034777.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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