一种干法去胶机驱动装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及一种干法去胶机驱动装置，具有安装座，安装座的下端连接有电机安装座，电机安装座连接有升降电机，升降电机向安装座的上端垂直延伸有升降丝杆，升降丝杆连接有第一驱动装置和第二驱动装置。本实用新型结构紧凑，占用空间小，具有第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置的第一驱动轴和第二驱动装置的第二驱动轴共同协作驱动机器手从片盒取片运送给腔体，实现晶圆类干法去胶机的自动化。
基本信息
专利标题 ：
一种干法去胶机驱动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020069389.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-13
授权号 ：
CN212161771U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
廖海涛孙文彬
申请人 ：
无锡市邑勉微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金辉
优先权 ：
CN202020069389.6
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-10-12 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/677
登记生效日 : 20210926
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
登记生效日 : 20210926
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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