本实用新型公开了高节能高效率纳米真空镀膜仪，包括蒸发源,蒸发源包括具有蒸发腔的柱形坩埚,柱形坩埚的顶部设有盖体,盖体上开设有出气口,柱形坩埚的内底面设有第一凸台,柱形坩埚的外底面上设有凹槽,柱形坩埚的上端内壁为锥形面,盖体的外边缘依次设有相连接的三个环形板,三个环形板分别与柱形坩埚的锥形面、上端面及上端外壁紧密贴合。通过在柱形坩埚内设置第一凸台，在进行真空蒸镀时，能增大蒸发材料与柱形坩埚的受热面积，以提高蒸发效率；柱形坩埚上设有锥形面，盖体上设置多个环形板分别与柱形坩埚的上端紧密贴合，有利于提高柱形坩埚与盖体边缘连接的密封性能，使蒸发后的气体仅从出气口射出，防止沉积到其他位置造成材料的浪费。