一种蒸镀自动加料装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种蒸镀自动加料装置，包括储料单元、加料单元和蒸镀单元，储料单元包括储存备用蒸镀材料的储料室，加料单元包括称重传感器、传输装置、漏斗和加料阀门，蒸镀单元包括蒸发源和振动装置，储存在储料室备用蒸镀材料被转移到漏斗中，称重传感器通过加料前后的质量变化推算出漏斗中添加的备用蒸镀材料的质量，利用传输装置将漏斗移至蒸发源上方，打开漏斗下方的加料阀门，让漏斗中的备用蒸镀材料滑落进蒸发源中，振动装置将添加的备用蒸镀材料与蒸发源原有的蒸镀材料混匀。本实用新型在不开舱的情况下向蒸发源自动精确加料，同时维持蒸发舱的真空环境，并保持蒸镀材料在蒸发源中的均匀分布。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸镀自动加料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020215249.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-27
授权号 ：
CN211471540U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
杭州纤纳光电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路7号B幢209室
代理机构 ：
杭州奥创知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨文华
优先权 ：
CN202020215249.5
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/26 C23C14/28
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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