本实用新型涉及蚀刻设备技术领域，且公开了三维立体蚀刻装置，包括蚀刻设备主体和控制模块，蚀刻设备主体的外壁固定连接有清洗箱，清洗箱的下表面开设有通孔，且通孔的孔壁固定连接有密封轴承，密封轴承的内壁固定连接有支撑杆，支撑杆的上表面固定连接有清洗筒，清洗筒的外壁开设有多个矩形通孔，清洗箱的内壁固定连接有空心块，空心块的外壁固定连接有多个雾化喷头，清洗箱的下表面开设有两个固定孔。本实用新型通过雾化水体清洗零件，能够避免水资源浪费的情况，提高了三维立体蚀刻装置的环保性能，以及使装置具有零件烘干功能，不需要再转运零件进行烘干，进而提高了零件加工的效率。