一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。本实用新型结构合理，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响。
基本信息
专利标题 ：
一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020282228.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN211977845U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
王忠
申请人 ：
上海灏谷集成电路技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区川沙路1098号8幢
代理机构 ：
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱明福
优先权 ：
CN202020282228.5
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 H01L21/68
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211977845U.PDF
PDF下载
