一种真空腔内基板的夹持装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空腔内基板的夹持装置，包括底板，所述底板上从左向右依次固定连接有竖直杆、U型架和真空转动电机，且其中竖直杆与U型架通过滑轨连接；所述真空转动电机的输出端通过联轴器连接有丝杆，且丝杆远离真空转动电机的一端与竖直杆转动连接，所述丝杆外侧壁螺纹套接有水平运动的两个丝杆螺母，两个所述丝杆螺母的两端均通过固定杆连接有同一个连接块，所述连接块上开设有与滑轨匹配的滑槽，且滑槽用于连接块水平滑动。本实用新型采用连接块水平运动驱动支撑板的上下运动，进而通过V型夹爪实现对基板的夹持效果，该方式相比现有技术可节省夹爪直接采用推杆等驱动时存在的上下预留长度，节省真空腔室的上下空间。
基本信息
专利标题 ：
一种真空腔内基板的夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020382067.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-24
授权号 ：
CN212051633U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
赵俊亮
申请人 ：
苏州航宇九天动力技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区1栋407室
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN202020382067.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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