本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，具体公开一种刻蚀装置。该刻蚀装置包括刻蚀槽体、输流管和多个滚轮组件，刻蚀槽体用于盛放刻蚀药液，多个滚轮组件转动设置于刻蚀槽体上，滚轮组件用于承载待刻蚀件，疏流管的两端均设置于刻蚀槽体的槽壁上，并位于滚轮组件的下方，疏流管上设置有进液口和多个出液口，进液口用于连通外部循环泵，多个出液口沿疏流管的轴线方向均匀且间隔设置，且出液口的方向朝向刻蚀槽体的内底面。本实用新型提供的刻蚀装置，通过在疏流管上设置多个朝向刻蚀槽体底面的出液口，使疏流管对刻蚀药液的疏流方向远离待刻蚀件，减少在循环时对刻蚀药液的流量冲击，使液面平稳，波动较小，防止待刻蚀件出现过刻的现象。