一种晶圆片全自动清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶圆片全自动清洗机，包括机架，机架上设置上料工作区，机架上在上料工作区的一侧设置有送料工作区，送料工作区的正下方设置有清洗工作区；上料工作区中设置有上料台，上料工作区在上料台的正下方设置有驱动上料台竖直移动的第一传动装置，上料台上方还设置有上料架；送料工作区中设置有抓取晶圆片的第一取料装置，送料工作区中还设置有驱动第一取料装置水平移动的第二传动装置；送料工作区中在第一取料装置的上方还设置有第二取料装置，送料工作区中还设置有驱动第二取料装置竖直移动的第三传动装置；清洗工作区中在第二取料装置的正下方水平设置有清洗台，清洗台一侧还设置有清洗组件，本实用新型具有自动清洗晶圆片的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片全自动清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020538022.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-13
授权号 ：
CN212018712U
授权日 ：
2020-11-27
发明人 ：
周鹏程戚孝峰
申请人 ：
争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
俞光明
优先权 ：
CN202020538022.4
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-11-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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