本实用新型公开了一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，此晶圆片清洗机整个清洗过程自动化实现，不需要人工参与，清洗效果好，清洗效率比较高。